Berührungslose Dickenmessung an transparenten und halbtransparenten Schichten

Die Fries Research & Technology GmbH (FRT), Bergisch Gladbach, vertreibt ein optisches single-sensor Messgerät MicroSpy® FT für Dickenmessungen an Schichten, die im sichtbaren oder nicht-sichtbaren Spektralbereich transparent sind. Selbst sehr dünne Schichten von nur einigen Nanometern Dicke werden sicher gemessen. Einsatzbereiche finden sich z.B. in der (Dünnschicht-) Photovoltaik, der Medizintechnik, der Fertigung von Halbleiterprodukten, Flat-Panel-Displays und OLED sowie der Glas- und Optikindustrie.

Zum Einsatz kommen optische Schichtdickensensoren mit interferometrischen oder reflektometrischen Verfahren, sodass die Schichtdicke von einigen Millimetern bis hin zu 10 Nanometern zerstörungsfrei bestimmt werden kann. Gemessen werden können einzelne Schichten und Mehrschichtsysteme. Der neue MicroSpy® FT verfügt neben der Möglichkeit Punkt- und Profilmessungen vorzunehmen, auch über einen 3D-Mapping Modus, mit dem die Homogenität einer gesamten Beschichtung evaluiert werden kann. Produktinformation >




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Bild: FRT – MicroSpy FT von FRT zur berührungslosen Dickenmessung

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